飛納電子顯微鏡利用電子束掃描樣品表面，通過檢測二次電子和背散射電子來生成高分辨率的三維圖像。SEM主要由電子槍、電磁透鏡、掃描線圈、樣品室和探測器組成。電子槍發(fā)射電子束，經(jīng)過聚焦和掃描線圈準確控制，投射到樣品表面。散射回來的電子被探測器接收并轉(zhuǎn)化為電信號，形成圖像。
結(jié)合了透射和掃描功能，它通過掃描電子束透過樣品，收集透過和散射的電子來成像，主要由電子槍、電磁透鏡、樣品架、掃描線圈、探測器和成像系統(tǒng)組成。電子槍發(fā)射電子束，經(jīng)過聚焦和掃描線圈控制，投射到樣品上。透過和散射的電子被探測器接收并轉(zhuǎn)化為電信號，形成圖像。
廣泛應(yīng)用于表面科學(xué)、材料科學(xué)和生物學(xué)等領(lǐng)域。在表面科學(xué)中，用于觀察材料的微觀形貌和分析表面特征。在材料科學(xué)中，它用于研究合金、陶瓷和復(fù)合材料的表面結(jié)構(gòu)和損傷情況。在生物學(xué)中，用于觀察組織和細胞的表面形態(tài)，以及微生物和植物的結(jié)構(gòu)。
飛納電子顯微鏡的主要類型：
透射電子顯微鏡通過電子束穿透超薄的樣品來獲得內(nèi)部結(jié)構(gòu)的高分辨圖像。典型的TEM由電子槍、電磁透鏡、樣品架、熒光屏和成像系統(tǒng)組成。電子槍發(fā)射電子束，電磁透鏡將其聚焦并投射到樣品上。透過樣品的電子束攜帶內(nèi)部結(jié)構(gòu)的信息，經(jīng)過額外的電磁透鏡成像在熒光屏或數(shù)字探測器上。
TEM在材料科學(xué)、納米技術(shù)和生物學(xué)中有廣泛的應(yīng)用。在材料科學(xué)中，它用于研究金屬、陶瓷和聚合物的微觀結(jié)構(gòu)，幫助理解材料的機械性能和失效機制。在納米技術(shù)中，TEM用于觀察和表征納米粒子和納米器件。在生物學(xué)中，它用于觀察病毒、細菌和細胞的內(nèi)部結(jié)構(gòu)，特別是在研究細胞器如線粒體和內(nèi)質(zhì)網(wǎng)時具有重要價值。
