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當電子束與樣品相互作用時，會產生背散射電子（BSE）和二次電子（SE）。通過檢發(fā)射信號可獲得樣品表面的成分襯度像（背散射電子）和表面形態(tài)像（二次電子）。背散射電子和二次電子是如何形成的，為什么它們攜帶特定的樣品信息？此外，能否在一幅圖像中同時獲得成分和形態(tài)信息？

當入射電子束擊中樣品表面時，會產生二次電子和背散射電子，檢測并收集這些信號從而形成圖像。二次電子是由樣品的核外電子的非彈性散射產生的，如圖1左圖所示。二次電子（SE）是低能量電子（通常小于50eV），容易被吸收。這就是為什么只有從極薄的樣品表面中產生的二次電子才能被探測器收集的原因。