飛納掃描電鏡是針對臺式電鏡設(shè)計的，本著臺式電鏡簡單易用，利用半導(dǎo)體制冷，無需額外冷卻系統(tǒng)，是一款具有處理所有類型材料能力的分析儀器，可以提供成像質(zhì)量，配備X射線能譜儀接口，并有X射線幾何設(shè)計，可對所有樣品進(jìn)行分析，對于非導(dǎo)體采用電子束襯管技術(shù)也提高了圖像質(zhì)量和分析精度。
掃描電鏡先進(jìn)的X射線幾何結(jié)構(gòu)以及標(biāo)配能譜儀和波譜儀，可變電壓功能用于分析較少制備的非接觸式樣品，可移動的顯微鏡樣品臺用于觀察大型樣品，是介于透射電鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種微觀形貌觀察手段，可直接利用樣品表面材料的物質(zhì)性能進(jìn)行微觀成像。掃描電鏡的結(jié)構(gòu)包括電子光學(xué)系統(tǒng)、圖像顯示和記錄系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、X射線能譜分析系統(tǒng)。
電子光學(xué)系統(tǒng)提供一個穩(wěn)定的電子源，形成電子束，一般使用鎢絲陰極電子槍，用直徑約為0.1 mm的鎢絲，彎成發(fā)夾形，形成半徑約為100um的V形。當(dāng)燈絲電流通過時，燈絲被加熱，達(dá)到工作溫度后便發(fā)射電子，在陰極和陽極間加有高壓，這些電子則向陽極加速運(yùn)動，形成電子束，掃描電鏡電子束在高壓電場作用下，被加速通過陽極軸心孔進(jìn)入電磁透鏡系統(tǒng)。
飛納掃描電鏡主要包括掃描發(fā)生器、掃描線圈和放大倍率變換器，由X掃描發(fā)生器和Y掃描發(fā)生器組成，產(chǎn)生的不同頻率的鋸齒波信號被同步送入鏡筒中的掃描線圈和顯示系統(tǒng)CRT中的掃描線圈上。掃描電鏡鏡筒的掃描線圈分上、下雙偏轉(zhuǎn)掃描裝置，其作用是使電子束正好落在物鏡光闌孔中心，并在樣品上進(jìn)行光柵掃描。
